Photoresistmonomer, dessen Polymer und diesen enthaltende Fotolackzusammensetzung
EP1736828
Art B1
24. November 2010
Anmelder: DONGJIN SEMICHEM CO., LTD 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1736828
- Aktenzeichen
- EP06012870
- Anmeldetag
- 22. Juni 2006
- Veröffentlichung
- 24. November 2010
- Erteilung
- 24. November 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/039C07C69/54C08F220/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- DONGJIN SEMICHEM CO., LTD
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Dongjin Semichem
Der Anmelder ist ein südkoreanischer Hersteller von Chemikalien für die Halbleiter- und Displayindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Klebstoffe, Optik und Kunststofftechnik, insbesondere Fotoresists und Materialien für Dünnschichtprozesse. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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