Ein Substratverarbeitungssystem und ein Substratverarbeitungsverfahren

EP1737022 Art B1 19. Dezember 2007

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1737022
Aktenzeichen: EP06011214
Anmeldetag: 31. Mai 2006
Veröffentlichung: 19. Dezember 2007
Erteilung: 19. Dezember 2007
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/00G03F7/20G06F19/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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