Fernkammerverfahren zum Entfernen von Oberflächenablagerungen
EP1737998
Art A2
3. Januar 2007
Anmelder: MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1737998
- Aktenzeichen
- EP05760434
- Anmeldetag
- 24. März 2005
- Veröffentlichung
- 3. Januar 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Massachusetts Institute of Technology
US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.
5.635 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Matthews, Derek Peter
London, Großbritannien
1.531
Patente gesamt
30
Fachgebiete
18
Anmelder-Länder
Schwerpunkte