Beleuchtungskondensor für ein Partikeloptik - Projektionssystem

EP1738392 Art B1 9. Mai 2012

Anmelder: Vistec Electron Beam GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1738392
Aktenzeichen
EP05716895
Anmeldetag
3. März 2005
Veröffentlichung
9. Mai 2012
Erteilung
9. Mai 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/317H01J37/141H01J37/30H01J37/153
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Vistec Electron Beam GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Freitag, Joachim Jena, Deutschland
93
Patente gesamt
22
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Medizintechnik & Gesundheit
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