Verfahren zum Abscheiden von Karbidschichten Hochschmelzender Metalle

EP1738395 Art A1 3. Januar 2007

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1738395
Aktenzeichen: EP05707580
Anmeldetag: 23. Februar 2005
Veröffentlichung: 3. Januar 2007
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32C23C14/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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