Poliervorrichtung

EP1738871 Art B1 25. Februar 2009

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1738871
Aktenzeichen
EP06020326
Anmeldetag
6. März 2000
Veröffentlichung
25. Februar 2009
Erteilung
25. Februar 2009
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/04H01L21/306B23Q7/02B08B3/02B08B11/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
EBARA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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