Verfahren und Vorrichtung zum direkten Messen der Dicke einer Siliziumepitaxieschicht
EP1739056
Art A3
23. Januar 2008
Anmelder: Honeywell International Inc., Honeywell International, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1739056
- Aktenzeichen
- EP06116162
- Anmeldetag
- 27. Juni 2006
- Veröffentlichung
- 23. Januar 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81C5/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Honeywell International Inc.
Honeywell International, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Honeywell
US-amerikanischer Mischkonzern mit Schwerpunkten in Luft- und Raumfahrttechnik, Automatisierungslösungen, Gebäudetechnik sowie Spezialchemikalien und -materialien für Industrie- und Verteidigungskunden.
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Haley, Stephen
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