Magnetlager und Turbomolekularpumpe damit

EP1739318 Art B1 17. April 2013

Anmelder: Edwards Japan Limited, BOC Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1739318
Aktenzeichen
EP05719664
Anmeldetag
28. Februar 2005
Veröffentlichung
17. April 2013
Erteilung
17. April 2013
Rechtsraum
EP
IPC
F16C32/04F04D19/04H03F3/217F04D29/058
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Edwards Japan Limited
BOC Edwards Japan Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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