Phasenverschiebungsmaske des Levenson-Typs und Herstellungsverfahren dafür

EP1739481 Art A1 3. Januar 2007

Anmelder: Toppan Printing Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1739481
Aktenzeichen: EP05734659
Anmeldetag: 19. April 2005
Veröffentlichung: 3. Januar 2007
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/30G03F1/00H01L21/027G03F1/36

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Toppan Printing Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Toppan Printing

Japanischer Konzern für Druck- und Verpackungstechnologien mit Sitz in Tokio, seit 1900 tätig. Produziert zudem Displays, Halbleitermasken und Sicherheitsdrucke.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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