Messvorrichtung für Lithographie und entsprechendes Messverfahren

EP1739493 Art B1 20. Februar 2019

Anmelder: ASML Netherlands BV 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1739493
Aktenzeichen
EP06253180
Anmeldetag
20. Juni 2006
Veröffentlichung
20. Februar 2019
Erteilung
20. Februar 2019
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G02B6/00G01B11/00H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands BV
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML Netherlands

ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.

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