Teilchenstrahlapparat und Verfahren zur Untersuchung einer Probe unter Verwendung des Teilchenstrahlapparats
EP1739713
Art A2
3. Januar 2007
Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1739713
- Aktenzeichen
- EP06253206
- Anmeldetag
- 21. Juni 2006
- Veröffentlichung
- 3. Januar 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/147
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- JEOL LTD.
JEOL Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
JEOL
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.
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Vertreten von
Palmer, Jonathan R
London, Großbritannien
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