Gasverteilungssystem mit Schnellen Gasumschaltfähigkeiten
EP1741128
Art B1
11. September 2019
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1741128
- Aktenzeichen
- EP05738420
- Anmeldetag
- 22. April 2005
- Veröffentlichung
- 11. September 2019
- Erteilung
- 11. September 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23F1/00H01J37/32C23C16/455
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Gritschneder, Martin
NoneMünchen