Vorrichtung zum Aufwärmen einer Flüssigkeit

EP1741995 Art A3 1. August 2007

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1741995
Aktenzeichen
EP06014160
Anmeldetag
7. Juli 2006
Veröffentlichung
1. August 2007
Rechtsraum
EP
IPC
F24H1/10F24H1/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TOKYO ELECTRON LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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