Ein Dampftrocknungsvorrichtung und ein Verfahren

EP1742248 Art B1 1. April 2009

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1742248
Aktenzeichen: EP06014037
Anmeldetag: 6. Juli 2006
Veröffentlichung: 1. April 2009
Erteilung: 1. April 2009
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/00F26B21/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik

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