Alkaliätzmittel zur Steuerung der Oberflächenrauhigkeit eines Halbleiterwafers
EP1742256
Art B1
15. August 2018
Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1742256
- Aktenzeichen
- EP05726977
- Anmeldetag
- 25. März 2005
- Veröffentlichung
- 15. August 2018
- Erteilung
- 15. August 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/306H01L21/02C09K13/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SUMCO CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sumco
Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.
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Adam, Holger
München, Deutschland
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