Herstellung einer selbstjustierten CuSiN Barriereschicht

EP1742261 Art A1 10. Januar 2007

Anmelder: STMICROELECTRONICS SA 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1742261
Aktenzeichen
EP06291077
Anmeldetag
29. Juni 2006
Veröffentlichung
10. Januar 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/768
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
STMICROELECTRONICS SA
Land
🇫🇷 Frankreich
🇨🇭 STMicroelectronics International

Schweizer Gesellschaft des Halbleiterkonzerns STMicroelectronics, die Chips und Sensoren für Automobiltechnik, Industrie und Unterhaltungselektronik entwickelt.

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