Verbundstrukturierungsvorrichtungen für Weiche Lithografie
EP1742893
Art B1
10. Oktober 2012
Anmelder: THE BOARD OF TRUSTEES OF THE UNIVERSITY OF ILLINOIS 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1742893
- Aktenzeichen
- EP05756327
- Anmeldetag
- 27. April 2005
- Veröffentlichung
- 10. Oktober 2012
- Erteilung
- 10. Oktober 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C04B24/38C04B28/14G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- THE BOARD OF TRUSTEES OF THE UNIVERSITY OF ILLINOIS
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Board of Trustees of the University of Illinois
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Vertreten von
Shaw, Matthew Nigel
München, Deutschland
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