Verfahren zur Herstellung von Ruthenium- und Rutheniumoxidfilm

EP1743359 Art A1 17. Januar 2007

Anmelder: L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, L'air liquide, Société anonyme à Directoire et Conseil de Surveillance pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés G. Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1743359
Aktenzeichen
EP05718314
Anmeldetag
23. März 2005
Veröffentlichung
17. Januar 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02C23C16/06C23C16/40H01L21/285
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
L'air liquide, Société anonyme à Directoire et Conseil de Surveillance pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés G. Claude
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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