ALD-Verfahren zur Abscheidung einer Schicht

EP1743954 Art B1 12. Mai 2010

Anmelder: IMEC, INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM ( IMEC), INTEL CORPORATION 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1743954
Aktenzeichen: EP06116996
Anmeldetag: 11. Juli 2006
Veröffentlichung: 12. Mai 2010
Erteilung: 12. Mai 2010
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455C23C16/40C23C16/48

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: IMEC
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM ( IMEC)
INTEL CORPORATION
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

2.615 Patente in unserer Datenbank

🇺🇸 Intel

US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kalifornien. Entwickelt und produziert Prozessoren, Chipsätze sowie weitere Halbleiterkomponenten für Computer, Server und eingebettete Systeme.

26.631 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von