Halter für ein optisches Element mit einem Antriebsmechanismus, der die Bewegung des optischen Elements entlang dreier Koordinatenachsen erlaubt

EP1744193 Art A1 17. Januar 2007

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1744193
Aktenzeichen
EP06022082
Anmeldetag
10. August 2001
Veröffentlichung
17. Januar 2007
Rechtsraum
EP
IPC
G02B7/02H01L21/027G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Kanzlei
Kraus & Weisert München, Deutschland

Schon mit Eröffnung des Europäischen Patentamts 1977 gehörte Kraus & Weisert zu den ersten Kanzleien, die US-amerikanische und japanische Mandanten dort vertraten. Nach Fusion mit der 1934 gegründeten Lederer & Keller firmiert sie als Kraus & Lederer, mit China Desk in München.

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