Vorrichtung und Verfahren zur Oberflächeninspektion von Mikro- und nanomechanischen Strukturen.
EP1744325
Art B1
10. Juni 2015
Anmelder: Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC), Consejo Superior de Investigaciones Cientificas (CSIC) 🇪🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1744325
- Aktenzeichen
- EP05380157
- Anmeldetag
- 14. Juli 2005
- Veröffentlichung
- 10. Juni 2015
- Erteilung
- 10. Juni 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01Q20/02G01Q10/06G01Q70/06
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC)
Consejo Superior de Investigaciones Cientificas (CSIC) - Land
- 🇪🇸 Spanien
🇪🇸
Consejo Superior de Investigaciones Científicas
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Vertreten von
Carpintero Lopez, Francisco
Madrid, Spanien
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Ungria López, Javier
UNGRIA Patentes y Marcas, S.A. · Madrid