Magnetron Zerstäubungssystem für grossflächige Substrate mit abnehmbaren Anoden
EP1744346
Art A1
17. Januar 2007
Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1744346
- Aktenzeichen
- EP05027887
- Anmeldetag
- 20. Dezember 2005
- Veröffentlichung
- 17. Januar 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/34
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Vertreten von
Zimmermann, Gerd Heinrich
München, Deutschland
751
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