Halbleiterherstellungsvorrichtung mit eingebauter Inspektionvsvorrichtung und Verfahren dafür
EP1744348
Art A3
20. Juni 2007
Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1744348
- Aktenzeichen
- EP06019773
- Anmeldetag
- 1. November 2002
- Veröffentlichung
- 20. Juni 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- EBARA CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ebara
Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
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Vertreten von
Geyer, Ulrich F
München, Deutschland
481
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4
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