Gehäuse mit einer Struktur zum Anbringen Optischer Elemente
EP1745317
Art A2
24. Januar 2007
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, ASML Netherlands B.V. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1745317
- Aktenzeichen
- EP05707566
- Anmeldetag
- 22. Februar 2005
- Veröffentlichung
- 24. Januar 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B7/02G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT AG
ASML Netherlands B.V. - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Vertreten von
Lorenz, Werner
Heidenheim, Deutschland
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