Mehrsäulige Ladungspartikel-Optikbaugruppe
EP1745492
Art A1
24. Januar 2007
Anmelder: Multibeam Systems, Inc., Tokyo Electron Limited 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1745492
- Aktenzeichen
- EP05745279
- Anmeldetag
- 3. Mai 2005
- Veröffentlichung
- 24. Januar 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G21K5/10H01J37/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Multibeam Systems, Inc.
Tokyo Electron Limited - Land
- 🇺🇸 USA
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
2.414 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Jehan, Robert
Bromley, Großbritannien
861
Patente gesamt
34
Fachgebiete
18
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Schwerpunkte