Verbessertes Verfahren zur Herstellung eines Materials mit Ultraniedriger Dielektrizitätskonstante als ein Dielektrikum Innerhalb einer Ebene oder zwischen Ebenen in einem Halbleiterbauelement und Hergestelltes Elektronisches Bauelement

EP1745504 Art A1 24. Januar 2007

Anmelder: International Business Machines Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1745504
Aktenzeichen
EP05728610
Anmeldetag
23. März 2005
Veröffentlichung
24. Januar 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/312H01L21/316C23C16/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
International Business Machines Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 IBM

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

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