Verfahren zur Herstellung dünner Zirkoniumnitrid-Schichten

EP1746183 Art B1 27. Januar 2010

Anmelder: H.C. Starck Clevios GmbH, H.C. Starck GmbH, H.C. Starck GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1746183
Aktenzeichen
EP06014020
Anmeldetag
6. Juli 2006
Veröffentlichung
27. Januar 2010
Erteilung
27. Januar 2010
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/34H01L21/285
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
H.C. Starck Clevios GmbH
H.C. Starck GmbH
H.C. Starck GmbH & Co. KG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 H.C. Starck

H.C. Starck ist ein deutsches Unternehmen für Spezialmetalle und Werkstoffe wie Tantal und Wolfram mit Sitz in Goslar. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterwerkstoffe, ergänzt durch Fertigungs- und Chemietechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2019.

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