Verfahren zur Herstellung dünner Zirkoniumnitrid-Schichten

EP1746183 Art B1 27. Januar 2010

Anmelder: H.C. Starck Clevios GmbH, H.C. Starck GmbH, H.C. Starck GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1746183
Aktenzeichen
EP06014020
Anmeldetag
6. Juli 2006
Veröffentlichung
27. Januar 2010
Erteilung
27. Januar 2010
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/34H01L21/285
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
H.C. Starck Clevios GmbH
H.C. Starck GmbH
H.C. Starck GmbH & Co. KG
Land
🇩🇪 Deutschland

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen