Verfahren zur Herstellung dünner Zirkoniumnitrid-Schichten
EP1746183
Art B1
27. Januar 2010
Anmelder: H.C. Starck Clevios GmbH, H.C. Starck GmbH, H.C. Starck GmbH & Co. KG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1746183
- Aktenzeichen
- EP06014020
- Anmeldetag
- 6. Juli 2006
- Veröffentlichung
- 27. Januar 2010
- Erteilung
- 27. Januar 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/34H01L21/285
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- H.C. Starck Clevios GmbH
H.C. Starck GmbH
H.C. Starck GmbH & Co. KG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Vertreten von
Herzog, Martin
Düsseldorf, Deutschland
408
Patente gesamt
32
Fachgebiete
13
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
- (deleted)
-
Clauswitz, Kai-Uwe Wolfram
NoneHanau
-
Colling-Hendelkens, Miriam
NoneLeverkusen