Erfassung des Wafer-Ergebnisses zwischen Prozessen
EP1747575
Art B1
17. April 2013
Anmelder: Inficon, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1747575
- Aktenzeichen
- EP05747822
- Anmeldetag
- 12. Mai 2005
- Veröffentlichung
- 17. April 2013
- Erteilung
- 17. April 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Inficon, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇩🇪
Inficon
Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.
283 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Selting, Günther
Köln, Deutschland
482
Patente gesamt
30
Fachgebiete
14
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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dompatent
dompatent · Köln
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von Kreisler Selting Werner
von Kreisler Selting Werner · Köln