Kapillarlithografie bei Nanofaserarrays

EP1747576 Art A2 31. Januar 2007

Anmelder: CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1747576
Aktenzeichen
EP05825999
Anmeldetag
5. Mai 2005
Veröffentlichung
31. Januar 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 California Institute of Technology

Private Forschungsuniversität in Pasadena, Kalifornien (USA), mit Schwerpunkt auf Naturwissenschaften und Ingenieurwesen. Sie betreibt unter anderem das Jet Propulsion Laboratory und zählt zu den weltweit führenden Technikhochschulen.

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