Verfahren zur Herstellung einer chemisch verstärkten Resistzusammensetzung

EP1748318 Art B1 3. Juli 2013

Anmelder: FUJIFILM Corporation, Fuji Photo Film Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1748318
Aktenzeichen: EP06015686
Anmeldetag: 27. Juli 2006
Veröffentlichung: 3. Juli 2013
Erteilung: 3. Juli 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/038G03F7/039G03F7/09B01D61/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: FUJIFILM Corporation
Fuji Photo Film Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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