Plasmaätzvorrichtung

EP1748465 Art B1 15. April 2015

Anmelder: Jusung Engineering Co. Ltd. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1748465
Aktenzeichen
EP06118053
Anmeldetag
28. Juli 2006
Veröffentlichung
15. April 2015
Erteilung
15. April 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Jusung Engineering Co. Ltd.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Jusung Engineering

Jusung Engineering ist ein südkoreanischer Hersteller von Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleitertechnik, ergänzt durch Metallurgie und Elektronik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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