Anlage zum Bearbeiten von Plattenförmigen Substraten

EP1748946 Art A1 7. Februar 2007

Anmelder: Applied Materials GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1748946
Aktenzeichen
EP04726852
Anmeldetag
10. April 2004
Veröffentlichung
7. Februar 2007
Rechtsraum
EP
IPC
B65H7/14G01V8/10G01V8/20C03B35/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials GmbH & Co. KG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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