Verfahren und Vorrichtungen zur Führung von Gegenständen durch eine Ladeschleusenkammer unter Vakuum
EP1749116
Art B1
4. März 2015
Anmelder: Ferrotec (USA) Corporation, Edwards Vacuum, Inc., BOC Edwards, Inc., THE BOC GROUP, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1749116
- Aktenzeichen
- EP05749791
- Anmeldetag
- 13. Mai 2005
- Veröffentlichung
- 4. März 2015
- Erteilung
- 4. März 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/00C23F1/00H01L21/677C23C14/56H01L21/687H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Ferrotec (USA) Corporation
Edwards Vacuum, Inc.
BOC Edwards, Inc.
THE BOC GROUP, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇬🇧
The BOC Group
The BOC Group war ein britischer Industriegasehersteller und ist heute Teil des Linde-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Energie- und Wärmetechnik, ergänzt durch anorganische Chemie und Metallurgie. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2012.
468 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
von Hellfeld, Axel
München, Deutschland
2.759
Patente gesamt
32
Fachgebiete
18
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Clark, Charles Robert
NoneWest
-
Booth, Andrew Steven
NoneWest