Piezoresistive Transduktion in einem Metallischen Dünnfilm in Mikromechanischen und Nanomechanischen Einrichtungen und Anwendung dafür in Selbsterfassungs-Spm-Sonden

EP1749185 Art A2 7. Februar 2007

Anmelder: CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1749185
Aktenzeichen
EP05736813
Anmeldetag
15. April 2005
Veröffentlichung
7. Februar 2007
Rechtsraum
EP
IPC
G01L1/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Firma
CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 California Institute of Technology

Private Forschungsuniversität in Pasadena, Kalifornien (USA), mit Schwerpunkt auf Naturwissenschaften und Ingenieurwesen. Sie betreibt unter anderem das Jet Propulsion Laboratory und zählt zu den weltweit führenden Technikhochschulen.

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