Vorrichtung zur Bereitstellung eines Polarisationsmusters
EP1749241
Art A1
7. Februar 2007
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, ASML Holding N.V. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1749241
- Aktenzeichen
- EP05716921
- Anmeldetag
- 4. März 2005
- Veröffentlichung
- 7. Februar 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B5/30G02B27/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT AG
ASML Holding N.V. - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Frank, Hartmut
Mülheim a. d. Ruhr, Deutschland
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