Optikmodul für ein Objektiv
EP1749242
Art A1
7. Februar 2007
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1749242
- Aktenzeichen
- EP05745591
- Anmeldetag
- 24. Mai 2005
- Veröffentlichung
- 7. Februar 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B7/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Karlhuber, Mathias
Düsseldorf, Deutschland
40
Patente gesamt
13
Fachgebiete
5
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