Suszeptor für Dampfabscheidungsvorrichtung

EP1749900 Art B1 3. September 2014

Anmelder: SUMCO Corporation, Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1749900
Aktenzeichen
EP05741152
Anmeldetag
17. Mai 2005
Veröffentlichung
3. September 2014
Erteilung
3. September 2014
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/687C23C16/458H01L21/205H01L21/68C30B25/12
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
SUMCO Corporation
Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Kanzlei
Kraus & Weisert München, Deutschland

Schon mit Eröffnung des Europäischen Patentamts 1977 gehörte Kraus & Weisert zu den ersten Kanzleien, die US-amerikanische und japanische Mandanten dort vertraten. Nach Fusion mit der 1934 gegründeten Lederer & Keller firmiert sie als Kraus & Lederer, mit China Desk in München.

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