Suszeptor für Dampfabscheidungsvorrichtung
Anmelder: SUMCO Corporation, Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1749900
- Aktenzeichen
- EP05741152
- Anmeldetag
- 17. Mai 2005
- Veröffentlichung
- 3. September 2014
- Erteilung
- 3. September 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/687C23C16/458H01L21/205H01L21/68C30B25/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- SUMCO Corporation
Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.
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Schon mit Eröffnung des Europäischen Patentamts 1977 gehörte Kraus & Weisert zu den ersten Kanzleien, die US-amerikanische und japanische Mandanten dort vertraten. Nach Fusion mit der 1934 gegründeten Lederer & Keller firmiert sie als Kraus & Lederer, mit China Desk in München.