Blattartige Sonde, Verfahren zur Herstellung der Sonde und Anwendung der Sonde

EP1750136 Art A1 7. Februar 2007

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1750136
Aktenzeichen: EP05741521
Anmeldetag: 18. Mai 2005
Veröffentlichung: 7. Februar 2007
Rechtsraum: EP
IPC: G01R1/073G01R31/26H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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