Optisches System zur Wellenlängenumwandlung

EP1750172 Art B1 24. April 2013

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1750172
Aktenzeichen
EP05745835
Anmeldetag
26. Mai 2005
Veröffentlichung
24. April 2013
Erteilung
24. April 2013
Rechtsraum
EP
IPC
G02F1/35G03F7/20H01L21/027H01S3/06H01S3/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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