Plasmaätzgerät
EP1750294
Art A1
7. Februar 2007
Anmelder: Jusung Engineering Co. Ltd. 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1750294
- Aktenzeichen
- EP06118054
- Anmeldetag
- 28. Juli 2006
- Veröffentlichung
- 7. Februar 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Jusung Engineering Co. Ltd.
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Jusung Engineering
Jusung Engineering ist ein südkoreanischer Hersteller von Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleitertechnik, ergänzt durch Metallurgie und Elektronik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Fachgebiete
Vertreten von
Michalski, Stefan
Düsseldorf, Deutschland
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