Apparat zum Transport von Substrathaltern

EP1750299 Art B1 11. Juni 2008

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1750299
Aktenzeichen
EP06022299
Anmeldetag
27. Januar 2004
Veröffentlichung
11. Juni 2008
Erteilung
11. Juni 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00H01L21/677
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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