Schleusenventil, insbesondere für eine Bandbehandlungsanlage

EP1751454 Art B1 18. November 2009

Anmelder: Applied Materials GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1751454
Aktenzeichen
EP04734675
Anmeldetag
25. Mai 2004
Veröffentlichung
18. November 2009
Erteilung
18. November 2009
Rechtsraum
EP
IPC
F16K51/02C23C14/56
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials GmbH & Co. KG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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