Rohrkathode für die Verwendung bei einem Sputterprozess
EP1752556
Art B1
31. Oktober 2007
Anmelder: Applied Materials GmbH & Co. KG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1752556
- Aktenzeichen
- EP05016738
- Anmeldetag
- 2. August 2005
- Veröffentlichung
- 31. Oktober 2007
- Erteilung
- 31. Oktober 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/34H01J37/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials GmbH & Co. KG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Vertreten von
Schickedanz, Willi
Offenbach, Deutschland
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7
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