Verfahren zur Nassreinigung von Quarzflächen von Komponenten für Plasmabearbeitungskammern
EP1753549
Art A2
21. Februar 2007
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1753549
- Aktenzeichen
- EP05756207
- Anmeldetag
- 3. Juni 2005
- Veröffentlichung
- 21. Februar 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23G1/02B08B3/00B08B3/04H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Gritschneder, Martin
NoneMünchen