Targetmaterial und Verwendung davon bei einem Sputterverfahren
EP1753892
Art A1
21. Februar 2007
Anmelder: Applied Materials GmbH & Co. KG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1753892
- Aktenzeichen
- EP04735743
- Anmeldetag
- 2. Juni 2004
- Veröffentlichung
- 21. Februar 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/34C03C17/36
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials GmbH & Co. KG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
10.783 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Schickedanz, Willi
Offenbach, Deutschland
175
Patente gesamt
27
Fachgebiete
7
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Schwerpunkte