Verfahren zur Steuerung des Betriebes eines Verarbeitungssystems

EP1754117 Art B1 10. Oktober 2012

Anmelder: Edwards Limited, The BOC Group plc 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1754117
Aktenzeichen
EP05744277
Anmeldetag
3. Juni 2005
Veröffentlichung
10. Oktober 2012
Erteilung
10. Oktober 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G05B19/418H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Edwards Limited
The BOC Group plc
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

524 Patente in unserer Datenbank

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen