Unterdrucksystem für die Immersionsfotolithographie
Anmelder: ASML Netherlands B.V., Edwards Limited, The BOC Group plc 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1756672
- Aktenzeichen
- EP05747245
- Anmeldetag
- 6. Juni 2005
- Veröffentlichung
- 14. April 2010
- Erteilung
- 14. April 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20B01D57/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands B.V.
Edwards Limited
The BOC Group plc - Land
- 🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
5.380 Patente in unserer Datenbank
Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.
612 Patente in unserer Datenbank
The BOC Group war ein britischer Industriegasehersteller und ist heute Teil des Linde-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Energie- und Wärmetechnik, ergänzt durch anorganische Chemie und Metallurgie. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2012.
468 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
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Clark, Charles Robert
NoneWest
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Booth, Andrew Steven
NoneWest