Verfahren zur Halbleiterherstellung mit Integration einer Wegwerf-Abstandsschicht in die Erhöhte Source-/drain-Verarbeitung

EP1756860 Art B1 4. November 2009

Anmelder: Freescale Semiconductor, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1756860
Aktenzeichen
EP05735763
Anmeldetag
13. April 2005
Veröffentlichung
4. November 2009
Erteilung
4. November 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/336
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Freescale Semiconductor, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Freescale Semiconductor

Ehemaliger US-amerikanischer Halbleiterhersteller, hervorgegangen aus einem Spin-off von Motorola, mit Schwerpunkt auf Mikrocontrollern und eingebetteten Prozessoren. Seit 2015 Teil von NXP Semiconductors.

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