Lactoncopolymer und Strahlungsempfindliche Harzzusammensetzung

EP1757628 Art A1 28. Februar 2007

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1757628
Aktenzeichen: EP05737180
Anmeldetag: 2. Mai 2005
Veröffentlichung: 28. Februar 2007
Rechtsraum: EP
IPC: C08F220/28G03F7/033G03F7/039H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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