Wässrige Dispersionsaufschlämmung für chemisch-mechanisches Polierverfahren, Kit zur Herstellung dieser Dispersionsaufschlämmung für ein chemisch-mechanisches Polierverfahren, und Verfahren zur Herstellung von Halbleitervorrichtungen

EP1757665 Art B8 11. April 2012

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1757665
Aktenzeichen: EP06119461
Anmeldetag: 24. August 2006
Veröffentlichung: 11. April 2012
Erteilung: 11. April 2012
Rechtsraum: EP
IPC: C09G1/02H01L21/321H01L21/768B24B37/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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